Selectiemethode vacuümpomp:
When choosing a vacuum pump, you need to pay attention to the following matters:
1. De werkdruk van de vacuümpomp moet voldoen aan de ultieme vacuüm- en werkdrukvereisten van de vacuümapparatuur. Voor vacuümcoaten is bijvoorbeeld een vacuümgraad van 110-5mmHg vereist, en de vacuümgraad van de geselecteerde vacuümpomp moet minstens 510-6mmHg zijn. Gewoonlijk wordt de vacuümgraad van de pomp gekozen om de helft tot een orde van grootte hoger te zijn dan de vacuümgraad van de vacuümapparatuur.
2. Selecteer het werkpunt van de vacuümpomp correct. Elke pomp heeft een bepaald werkdrukbereik, zoals: diffusiepomp is 10-3~10-7mmHg, in zo'n breed drukbereik verandert de pompsnelheid van de pomp met de druk en zijn stabiele werking drukbereik is 510-4 ~510-6 mmHg. Daarom moet het werkpunt van de pomp binnen dit bereik worden gekozen en mag deze niet lange tijd werken onder 10-8mmHg. Een ander voorbeeld is dat de titanium sublimatiepomp kan werken onder 10-2mmHg, maar de werkdruk moet lager zijn dan 110-5mmHg.
3. Onder zijn werkdruk moet de vacuümpomp in staat zijn om al het gas te verwijderen dat wordt gegenereerd tijdens het proces van de vacuümapparatuur. 4. Combineer de vacuümpomp op de juiste manier. Door het selectief verpompen van vacuümpompen kan één type pomp soms niet voldoen aan de pompvereisten en moeten meerdere pompen worden gecombineerd om elkaar aan te vullen om aan de pompvereisten te voldoen. De titaniumsublimatiepomp heeft bijvoorbeeld een hoge pompsnelheid voor waterstof, maar kan geen helium pompen, terwijl de driepolige sputterende ionenpomp (of de tweepolige asymmetrische kathodesputterende ionenpomp) een bepaalde pompsnelheid heeft voor argon. Gecombineerd krijgt het vacuümapparaat een betere vacuümgraad. Bovendien kunnen sommige vacuümpompen niet werken onder atmosferische druk en hebben ze een voorvacuüm nodig; sommige vacuümpompen hebben een uitlaatdruk die lager is dan de atmosferische druk en hebben een voorpomp nodig, dus ze moeten allemaal in combinatie worden gebruikt.
5. Eisen aan olievervuiling van vacuümapparatuur. Als de apparatuur strikt olievrij moet zijn, moeten verschillende olievrije pompen worden geselecteerd, zoals: waterringpomp, moleculaire zeef-adsorptiepomp, sputter-ionenpomp, cryogene pomp, enz. Als de vereisten niet streng zijn, kunt u kan een oliepomp kiezen, plus enkele maatregelen tegen olievervuiling, zoals het toevoegen van koude vallen, schotten, olievangers, enz., kunnen ook voldoen aan de vereisten van schoon vacuüm.
6. Begrijp de samenstelling van het verpompte gas, of het gas condenseerbare damp bevat, of er stofdeeltjes zijn, of het corrosief is, enz. Bij het kiezen van een vacuümpomp moet u de gassamenstelling kennen en de overeenkomstige pomp selecteren voor de te pompen gas. Als het gas dampen, deeltjes en corrosieve gassen bevat, moet worden overwogen om hulpapparatuur zoals condensors, stofafscheiders enz. op de inlaatleiding van de pomp te installeren.
7. Welke invloed heeft de oliedamp die uit de vacuümpomp komt op het milieu? Als de omgeving geen vervuiling toelaat, kunt u kiezen voor een olievrije vacuümpomp, of de oliedamp naar buiten afvoeren.
8. Of de trillingen van de vacuümpomp invloed hebben op het proces en de omgeving. Als het proces het niet toelaat, kies dan een pomp zonder trillingen of neem anti-vibratiemaatregelen.
9. De prijs, bediening en onderhoudskosten van de vacuümpomp.